据天眼查App显示，近日，上海精测半导体技术有限公司发生工商变更，新增国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司、上海精璇管理咨询合伙企业（有限合伙）、上海精昕管理咨询合伙企业（有限合伙）为股东，同时注册资本由约13.7亿人民币增至约20.7亿人民币。

作为创业板上市公司精测电子的控股子公司，上海精测已获得国家集成电路产业投资基金（大基金）一期、二期联合注资，合计持股比例超过9.6%，凸显其在国内半导体设备产业链中的战略地位。

成立于2018年7月的上海精测，专注于半导体前道制程量检测设备的研发与产业化。公司构建了电子束/离子束成像、光谱分析量测、光学干涉测量等核心技术平台，已推出薄膜厚度量测、关键尺寸量测、有图形晶圆检测等设备，为晶圆厂提供制程优化与良率提升解决方案。

股权信息显示，上海精测控股股东为国内半导体检测设备龙头精测电子（持股56.42%），实控人彭骞同时担任两家公司董事长。值得关注的是，国家大基金一期、二期通过分别持股4.82%，合计持有上海精测逾9.6%股份；上海青浦投资、上海半导体装备材料基金等国有资本亦各持股4.82%，形成“产业龙头+国家队+地方资本”的股东结构。

行业分析人士指出，大基金的注资不仅提供资金支持，更将助力上海精测对接上下游资源，加速产品在晶圆厂的验证与导入。

公开资料显示，上海精测早在2019年即完成A轮融资，引入青浦投资、上海半导体装备材料基金及蓝湖资本；2020年A+轮再获同鑫资本跟投。持续的资本加持，反映出市场对其技术路线与国产化前景的看好。

随着国内晶圆厂扩产潮持续，半导体设备自主可控需求迫切。集邦咨询数据显示，2023年中国大陆半导体检测设备市场规模已突破30亿美元，但前道量测设备国产化率仍不足10%。上海精测凭借多元股东背景与技术积累，有望在这一蓝海市场中占据先机。