打破多年依赖进口局面纳米等离子刻蚀机进大生产线

作者：蓝天 2010-10-26

来源：《中国电子报》 #生产线# #纳米# #局面# #刻蚀# #等离子#

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　半导体工艺装备是一个非常复杂的系统。多年来，中国半导体行业所需设备几乎全部依赖进口。近20年来，中国半导体行业的强劲发展不仅没有拉动中国半导体装备的发展，反而由于引进的冲击使中国的半导体设备行业濒临全军覆没。

　　随着中国近年来集成电路、光伏、LED、FPD产业与国际先进水平差距的缩小，相关的配套材料、零备件、工艺设备、维护服务等支撑行业迎来了千载难逢的发展机遇。国家重大科技专项的实施，大大增强了中国半导体装备产业的整体竞争能力。

　　中国近年来半导体设备产业的进步与国家重大专项的支持有关，更为重要的是中国本土芯片制造企业、太阳能电池片、显示面板企业、LED芯片制造企业的技术进步和跨越式发展拉动了设备产业的发展。北方微电子是国内第一家将半导体核心工艺设备进入主流生产线的本土设备企业。

　　国产设备进入主流大生产线，首先是本土设备制造商要熟悉和遵从国际半导体产业的国际惯例和游戏规则，在各个方面一定要比国外竞争对手做得更好、更到位，设备技术工艺性能、设备价格、服务支持、备品备件、耗材成本等都要有量化指标，而且有相对的竞争优势才能获取客户的兴趣和信任。

　　半导体设备产业是半导体工业的基础，是中国在未来战略性新型产业实现跨越的根本保证，这已经得到各级领导和业内专家的认同，设备产业也受到前所未有的重视和极大的关注。但是，一个先进的半导体制造工厂是可以依靠花重金引进先进设备建设起来的，而一个先进的设备工厂是无法靠引进来建成的。国际主流设备公司研发一台大型设备从立项到研发成功再到客户认可大约需要4到5年时间，研发的方向和资金的投入需要具有极高的风险控制能力，尤其是对市场、技术趋势的判断和把握，设备产业被认为是极具风险的产业。对国内设备企业来说，跟踪已非易事，要实现技术引领就更为艰难，成功需要坚持，也需要机遇。

　　一家设备企业从初创到实现自负盈亏，并实现自我持续发展，最根本的是要开发出市场认可、客户需要、而且与竞争对手相比更具竞争力的产品，在销售推广、生产制造、质量控制、售后服务、财务管理、人力资源、知识产权、资本运营等各方面都具备国际一流的能力和水平，这些都需要时间，需要设备产业自身坚持不懈的努力，更需要产业界更多的理解和持续不断的支持。此次国家重大专项的目标不是突破几项关键技术、获得几项科研成果，而是通过持续不断的努力，在某些科技领域获得国际竞争优势，培育几个具有国际竞争力的世界级企业。