北方华创:CCP介质刻蚀机已在5家客户完成验证并实现量产

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近日,北方华创发布消息称,公司NMC508 RIE介质(CCP)刻蚀机已在5家客户完成验证并实现量产。

据悉,NMC508 RIE介质刻蚀机采用多频射频技术,专为8英寸工艺设计的腔室与硬件,主要应用领域包括Logic、BCD、Power(Si/SiC/GaN), MEMS等,提供包括逻辑器件、功率器件、化合物半导体等在内的多种特色工艺。此外,北方华创还可提供包括PVD、CVD、ALD、炉管、清洗等在内的8英寸设备。

北方华创主营半导体装备、真空装备、新能源锂电装备及精密元器件业务,涉及等离子刻蚀设备(Etcher)、物理气相沉积设备(PVD)、氧化扩散设备(Oxide/Diff)等,为半导体、新能源、新材料等领域提供解决方案。(校对/韩秀荣)

责编: 韩秀荣
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魏健

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