1月28日，国内等离子体射频电源系统行业龙头厂商，广东恒运昌真空技术股份有限公司在科创板上市，成为国产半导体核心零部件领域又一标志性企业。上市首日，公司股价一度飙升超320%，市值突破260亿元，凸显市场对其技术实力与成长潜力的高度认可。
作为国内领先的半导体设备核心零部件供应商，恒运昌深耕的等离子体射频电源系统，是半导体产业链中兼具技术深度与战略价值的关键环节。该产品被业内视为半导体设备零部件国产化的“最难关卡”，技术壁垒高、研发投入大、研发周期长。而在恒运昌登陆资本市场的背后，国内半导体零部件领域正迎来一波IPO热潮，多家企业加速冲刺资本市场，在国产化红利下开启资本赋能的新阶段。
填补关键零部件国产化空白，但高增长与高风险并存
恒运昌的业绩呈现爆发式增长。2022年至2024年，公司营业收入从1.58亿元飙升至5.41亿元，年均复合增长率高达84.91%；归母净利润从2618.79万元增长至1.42亿元，增幅超过440%。仅2024年，营收与净利润便分别实现66.26%和77.31% 的同比增长，增长势头迅猛。
公司的盈利能力提升得益于产品结构的优化与技术溢价。主营业务毛利率从2022年的41.49%稳步提升至2025年上半年的49.01%，与MKS较为接近。目前其自主研发的第二代产品Bestda系列可支撑28nm制程，第三代产品Aspen系列可支撑7-14nm先进制程，达到国际先进水平，填补国内空白。这直接印证了核心技术带来的强大定价能力，并成为驱动盈利增长的核心引擎。
持续的巨额研发投入是技术突破的基石。近三年（2022-2024年），公司累计研发投入达1.14亿元，占同期累计营收的11.11%，且研发费用复合增长率高达154.84%。2025年上半年，研发投入占比进一步攀升至14.24%。正是这种高强度的投入，支撑公司成功突破7-14纳米先进制程技术，成为国内首家实现半导体级等离子体射频电源系统量产且出货过亿元的企业。
然而，亮眼的增长背后潜伏着严峻挑战，客户高度集中成为最大风险源。公司对第一大客户拓荆科技的销售依赖日益加深，收入占比从2022年的45.23%攀升至2025年上半年的62.06%。这种依赖导致公司业绩与单一下游客户的采购周期深度捆绑，波动性急剧放大。2025年以来，受拓荆科技采购节奏调整影响，恒运昌增长戛然而止：上半年净利润同比下滑11.99%，7-9月的营收与归母净利润更是分别同比大幅下滑27.29%和46.16%；在手订单也从2024年末的1.55亿元锐减至2025年9月末的8440万元，增长可持续性面临直接考验。
此外，现金流与利润的严重背离敲响了财务健康的警钟。2024年，在公司实现1.42亿元净利润的同时，经营活动产生的现金流量净额却为-7800万元。这种背离与应收账款激增直接相关：2022年至2025年上半年，应收账款账面余额从1997万元激增至1.30亿元，其中仅对拓荆科技的应收款就达7661.12万元。尽管账面货币资金充裕，但激增的应收款和持续的营运资金需求，提示其业绩增长的“含金量”与财务稳健性亟待改善。
国产半导体零部件开启IPO浪潮，构建国产化良性循环
等离子体射频电源系统是半导体设备中“卡脖子”最严重的环节之一。2024年，该领域在中国大陆的国产化率仍不足12%，恒运昌以约6.1%的份额位列国产厂商第一。这意味着巨大的国产替代空间，但也说明海外巨头（如MKS、AE）的垄断地位依然稳固。
半导体设备行业要求极高的一致性和稳定性，设备商与零部件供应商一旦通过验证便形成深度绑定，更换成本高昂。这既是恒运昌绑定大客户的基础，也是其拓展新客户必须克服的壁垒。
恒运昌的IPO之路，折射出国内半导体零部件企业在国产化进程中的共性发展特征：依托核心技术突破实现业绩高速增长，但受制于下游半导体设备行业的头部集中格局，普遍面临客户依赖、业绩随下游采购节奏波动的问题。而在国产替代的大趋势下，这一赛道的成长潜力已吸引多家企业加速冲刺资本市场，半导体零部件领域正迎来IPO密集期，拟IPO企业覆盖射频电源、探针卡、精密流体、真空设备等多个关键环节：
神州半导体（2025年12月16日辅导备案）：专注射频及脉冲电源、匹配器等，产品覆盖刻蚀、薄膜沉积等领域。
臻宝科技（问询阶段）：覆盖硅、石英、碳化硅等多类零部件，构建“材料+零部件+表面处理”一体化平台。
强一股份（2025年12月30日上市）：半导体探针卡领域龙头企业，跻身全球前十。
韬盛电子（IPO获受理）：专注半导体测试接口，布局MEMS探针卡第二曲线。
超纯应用材料（IPO已问询）：具备5nm及以下刻蚀设备零部件供应能力。
高凯精密流体（申报科创板）：流体控制部件供应商，产品可用于7nm以下先进制程。
隐冠半导体（2025年12月24日辅导备案）：覆盖精密运动台、特种电机等产品线。
频准激光（进入问询阶段）：专注精准激光器，服务于量子计算、晶圆检测等领域。
中科仪（1月16日北交所过会）：深耕真空技术近70年，产品包括干式真空泵与真空仪器。
随着设备国产化逐步深入，从技术攻坚到产业协同，再到资本市场的持续赋能，国内半导体零部件行业正逐步形成“自主研发—市场验证—资本助推—规模扩张”的良性发展闭环，为产业链整体安全与升级注入强劲动力。
对于包括恒运昌在内的半导体零部件IPO及准IPO企业而言，登陆资本市场只是发展的新起点。如何通过资本赋能扩大产能、突破更先进制程的技术壁垒，如何优化客户结构降低单一客户依赖，如何平衡研发投入与盈利水平的关系，将成为企业持续发展的核心课题。而在半导体产业链自主可控的国家战略下，具备核心技术、产品矩阵完善、客户结构多元化的半导体零部件企业，终将在国产化的浪潮中脱颖而出，成为支撑国内半导体设备产业发展的核心力量。
