胜科纳米 “一种晶圆中心定位装置及晶圆检测设备”专利获授权

据天眼查显示，胜科纳米(苏州)股份有限公司近日取得一项名为“一种晶圆中心定位装置及晶圆检测设备”的专利，授权公告号为CN221486466U，授权公告日为2024年8月6日，申请日为2023年12月27日。

本实用新型属于晶圆治具技术领域，提出一种晶圆中心定位装置及晶圆检测设备，晶圆中心定位装置包括承载部、限位部及导向部，承载部承载大尺寸的晶圆；限位部设置于承载部，并且朝向晶圆的一侧具有弧度，弧度与晶圆的周向侧壁适配；导向部设置于承载部，并且与限位部连接，导向部的长度方向穿过弧度所对应的圆心。本实用新型中将晶圆放置于真空吸附部，并且使晶圆承载于承载部，通过设置的承载部能够提高大尺寸的晶圆放置于真空吸附部时的稳定性。随后使晶圆的缺口与导向部相对设置，通过检测模组定位缺口的位置，控制检测模组沿导向部的长度方向移动预设长度，从而能够精准得到大尺寸的晶圆的中心。