天眼查显示,上海华虹宏力半导体制造有限公司近日取得一项名为“用于晶圆芯片并行测试的模拟量测试焊盘排布结构”的专利,授权公告号为CN112147487B,授权公告日为2024年7月23日,申请日为2020年9月25日。
本申请涉及晶圆测试领域,具体涉及一种用于晶圆芯片并行测试的模拟量测试焊盘排布结构。所述晶圆包括若干个呈阵列式分布芯片,相邻芯片之间形成划片槽;相邻两列芯片之间形成纵向划片槽,相邻两排芯片之间形成横向划片槽;位于各个所述芯片周围的划片槽中,设有模拟量测试焊盘,所述模拟量测试焊盘与对应芯片电性耦合。本申请通过将模拟量测试焊盘设于对应芯片周围的划片槽中,在节省焊盘占用芯片面积的同时,通过保证在进行晶圆测试时所述模拟量测试焊盘与对应芯片电性耦合,即能够保证在晶圆芯片模拟参数并行测试的过程正常进行。