三星旗下Semes成功开发ArF-i光刻涂胶/显影设备

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三星电子旗下的晶圆厂设备公司Semes成功开发出一种ArF-i浸润式光刻涂胶/显影设备。该公司6月24日表示,第一台名为“Omega Prime”的设备已于去年供货,Semes正在制造第二台设备。

迄今为止,韩国芯片制造商在设备方面严重依赖外国进口,三星每年花费达数千亿韩元。

据了解,涂胶设备用于曝光前,对晶圆进行光刻胶涂布。在完成光刻后,需由显影设备进行光刻图案的显影。

Semes目前已制造出KrF光刻涂胶/显影设备,并在此基础上开发了ArF版本,以支持波长更短的新型光刻机。

据业界报道,目前东京电子(Tokyo Electron)拥有ArF-i光刻涂胶/显影设备全球90%以上的市场份额。

Semes表示,在Omega Prime设备上应用了喷嘴、烘烤温度和机器人位置自动调整系统,以消除涂布层的偏差。

(校对/张杰)

责编: 张杰
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