士兰微“MEMS麦克风”专利获授权

天眼查显示，杭州士兰微电子股份有限公司近日取得一项名为“MEMS麦克风”的专利，授权公告号为CN111918192B，授权公告日为2024年6月14日，申请日为2020年8月19日。

本发明提供了一种MEMS麦克风，衬底上的支撑墙体围合成一空腔，振动膜悬于空腔内且边缘延伸至支撑墙体内实现固定。背板结构上的释放孔阵列包括多个贯穿背板结构并与空腔连通的释放孔，在通过释放孔阵列释放牺牲层形成支撑墙体的过程中，支撑墙体的内壁的轮廓主要与释放孔阵列的最外圈释放孔有关，将最外圈释放孔配置为间隔排布的第一释放孔和第二释放孔。由于第一释放孔的孔径大于第二释放孔的孔径，利用第一释放孔会将支撑墙体的内壁腐蚀为波浪形，而利用第二释放孔可以“削”掉波浪形中的尖角，从而抑制尖角的形成，平滑支撑墙体内壁的轮廓，防止尖角戳破振动膜而导致振动膜脱落，提高器件的寿命和可靠性。