晶洲装备：国产首台精密掩膜版FMM工艺设备出货

作者：姜羽桐 2023-01-09

来源：爱集微 #晶洲装备# #FMM#

1月6日，苏州晶洲装备科技有限公司（以下简称“晶洲装备”）宣布，其国产首台精密掩模版（FMM）INVAR卷材工艺设备通过厂内验收，发运客户端即将投入生产。

据悉，FMM是OLED蒸镀工艺中的核心零部件，其主要作用是生产过程中沉积RGB有机物质形成像素。鉴于蒸镀工艺中对FMM材料热膨胀性能的高要求，材质常用因瓦合金，简称为INVAR。

晶洲装备称，其自主研发生产的国内首台INVAR卷材工艺设备集成脱脂、酸洗、减薄、清洗等多种单元，具备将基材厚度管理至20μm以内水平。（校对/赵碧莹）

责编：赵碧莹

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