在全球半导体产业加速发展、技术迭代步入“深水区”的关键之年，3月25日，SEMICON China 2026在上海新国际博览中心盛大开幕。作为全球半导体行业最具影响力的盛会之一，本届展会汇聚了国内外众多顶尖设备与材料供应商。
安徽万瑞冷电科技有限公司（以下简称“万瑞冷电”）携新一代半导体用超高真空冷泵及多款核心尖端低温设备参加本届盛会，致力于以更可靠、更洁净、更智能的深低温真空解决方案，向与会专家学者共探产业链自主可控的新路径。
直击展会一线/ On-Site Report
展会期间，万瑞冷电技术团队全程驻场，针对不同工艺场景的真空需求，提供从系统方案设计、设备选型到安装调试、售后维保的一站式解决方案。
深耕低温领域，助力核心部件国产化
半导体制造工艺中，物理气相沉积、刻蚀、离子注入等关键工序需在超高真空环境下完成。真空环境的洁净度与稳定性，直接影响晶圆良率。长期以来，高端真空获取设备市场主要由国外厂商主导。
万瑞冷电依托在深低温领域数十年的技术积淀，持续投入研发，致力于为半导体产业提供自主可控的真空解决方案。
冷泵利用低温冷凝和吸附原理，创造并维持洁净无油、抽速快、真空度极高的微观环境，广泛应用于物理气相沉积（PVD）、离子注入、刻蚀、分子束外延（MBE）等关键制程环节。
01极限真空
在用户的帮助和指导下，万瑞冷电主持承接两期国家科技部重大专项，经过持续的技术攻关与产品迭代，极限真空度达到10-7Pa，可提供无油、洁净的超高真空环境，从源头避免碳氢化合物污染，保障工艺。
02抽速快
通过优化制冷机核心、改进吸附材料与结构设计，抽气速率与制冷能力同步提升，能够快速响应工艺过程中的气载波动，有效缩短生产节拍。
03智能控制
引入智能变频控制技术，在极端工况下实现了性能与能效的平衡，在稳定性与长期运行可靠性方面实现显著突破，平均无故障运行时间（MTBF）已稳定提升至20000小时以上，有效保障客户制造产线连续、高效与稳定运转，降低了综合运维成本。
诚挚邀约恭候专家学者拨冗莅临
半导体产业的进步，离不开产业链上下游的紧密协作。万瑞冷电始终坚持以技术创新为驱动，以客户需求为导向，致力于成为深低温真空领域的可靠合作伙伴。
在此，万瑞冷电谨以最诚挚的心情，向正在参加SEMICON China 2026的各位专家学者、行业翘楚、合作伙伴发出邀约：
如果您正在关注核心零部件的国产化进展，万瑞愿以开放的技术资料与坦诚的研发数据，与您探讨设备性能的极限边界。
如果您在产线中面临真空系统稳定性的困扰，万瑞的研发工程师期待在展台为您答疑解惑，共同寻找优化的可能。
如果您对深低温技术在下游领域的延伸应用有独到见解，万瑞更是虚左以待，渴盼您的点拨与指正。
