天眼查显示,北京北方华创微电子装备有限公司“工艺配方的管理控制方法、装置及半导体设备”专利公布,申请公布日为2024年10月1日,申请公布号为CN118732614A。
本发明提供了工艺配方的管理控制方法、装置及半导体设备;其中,该方法包括:FA端设备获取工厂端主机发送的管理消息,并对管理消息进行解析,得到操作信息和标识信息;FA端设备通过Message Services将操作信息经上位机转发至下位机,以使下位机根据操作信息对Recipe进行操作处理;FA端设备获取第一操作结果信息,并将第一操作结果信息发送至工厂端主机,从而通过在FA端设备中新增E42标准的消息服务Message Services,实现了工厂端按照SEMI E42标准的方式来管理Recipe,提高了工厂自动化程度。