天眼查显示，深圳中科飞测科技股份有限公司近日取得一项名为“检测设备及检测方法”的专利，授权公告号为CN113514399B，授权公告日为2024年9月17日，申请日为2021年3月26日。
本发明提供一种检测设备及检测方法，其中，检测设备包括：合光元件，用于使所述泵浦光和第二检测光在到达待测物之前具有公共路径，经过所述公共路径的光束为组合光，所述组合光中心轴线的入射角为锐角；位置探测器，用于探测所述第一光束，并根据所述第一光束在位置探测器感光面形成的光斑位置确定所述待测物表面的高度；探测组件，用于探测所述第二光束，并根据所述第二光束的光强检测所述待测物的结构信息。所述检测设备能够通过组合光倾斜入射至待测物表面并结合位置探测器能够实现待测物表面高度的检测，并利用探测组件实现待测物结构信息的检测；同时第二检测光和泵浦光具有公共路径能够简化光路，提高集成度。
