北方华创“半导体工艺设备”专利获授权

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天眼查显示,北京北方华创微电子装备有限公司近日取得一项名为“半导体工艺设备”的专利,授权公告号为CN112687585B,授权公告日为2024年4月16日,申请日为2020年12月18日。


本申请实施例提供了一种半导体工艺设备。该半导体工艺设备包括:工艺腔室、控制器及检测器;工艺腔室内设置有承载组件,承载组件包括承载座及驱动结构,承载座可旋转的设置于驱动结构上,用于承载待加工件,承载座的外周设置有检测部;驱动结构用于驱动承载座旋转;检测器设置于工艺腔室上,用于检测检测部;控制器用于基于检测器在单位时间内检测到检测部的次数,确定承载座的实际转速。本申请实施例对实现了对承载座的实际转速进行检测,从而大幅提高了确定承载座旋转速度的精准性,为调节承载座的旋转速度提供了准确依据。


责编: 赵碧莹
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