北方华创“半导体工艺设备中的温度控制装置及方法”专利获授权

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天眼查显示,北京北方华创微电子装备有限公司近日取得一项名为“半导体工艺设备中的温度控制装置及方法”的专利,授权公告号为CN113013071B,授权公告日为2024年5月17日,申请日为2021年3月31日。

本申请提供一种半导体工艺设备中的温度控制装置及方法,该温度控制装置包括第一温控源、第二温控源、第一输出管道、第二输出管道、第一回流管道、第二回流管道、第一短路管道、第二短路管道及控制器,其中;两个温控源的输出口分别通过两个输出管道与卡盘的进口连通,两个温控源的回流口分别通过两个回流管道与卡盘的出口连通;两个温控源的输出口还通过两个短路管道分别与各自的回流口连通;各管道上均设置有通断开关;控制器用于依次连通或断开多个通断开关,将卡盘与两个温控源的连通进行切换,两个温控源中的温控介质的温度不同。应用本申请可以提高温度控制范围、缩短控温时间,并有效解决两个温控源中的流体串混的问题。


责编: 赵碧莹
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