西电张玉明教授获2023年度陕西省科学技术奖技术发明一等奖

来源:西电集成电路学部 #西电#
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近日,陕西省人民政府发布《陕西省人民政府关于2023年度陕西省科学技术奖励的决定》,西电集成电路学部张玉明教授牵头项目获得技术发明一等奖。

高压低功耗碳化硅功率器件关键技术及应用

张玉明教授

该项目成果针对SiC功率器件击穿效率低、功率密度小、可靠性差的问题,攻克了高击穿电压电场调制与芯片终端保护技术,发明了凹槽辅助场限制环场调制技术、新型“高频刻蚀”工艺和多层掩模多步刻蚀技术,研制了终端击穿效率达到90%、具有高稳健性的SiC超高压功率器件;攻克了高功率密度SiC芯片设计与工艺技术,实现特征导通电阻低至4mΩ‧cm2的SiC MOSFET器件及高效率SiC超级结功率器件,有效提升了器件功率密度;攻克了长寿命、高可靠性SiC芯片关键技术,建立了L型围栅场调制、双区浮动结调制技术及终端电场区域陷阱电荷俘获和发射机制模型,有效解决了器件氧化层失效问题,为实现高稳定击穿特性奠定了理论基础。

据悉,2023年度陕西省科学技术奖共评选出309项。其中,最高科学技术奖3人;自然科学奖46项:一等奖21项,二等奖25项;技术发明奖19项:一等奖12项,二等奖7项;科学技术进步奖235项:一等奖37项,二等奖88项,三等奖110项;国际科学技术合作奖2人;创新驱动秦创原奖4人。


责编: 赵碧莹
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