美光将首先采用佳能纳米压印光刻机，降低DRAM生产成本

集微网消息，美国存储厂商美光计划首先采用日本佳能的纳米压印（NIL）光刻机，希望借此进一步降低生产DRAM存储器的成本。

美光日前举办演讲，介绍纳米压印技术用于DRAM生产的细节。美光阐述了DRAM制程和浸润式曝光解析度的问题，通过Chop层数不断增加，必须增加更多曝光步骤，以取出密集存储阵列周围的虚置结构。

由于光学系统特性，DRAM层图案很难用光学曝光图案，纳米压印可实现更精细的图案，且成本是浸润式光刻的20%，成为较佳的解决方案。但纳米压印并不能在存储器生产所有阶段取代传统光刻，两者并非纯粹竞争关系，但至少可以降低部分技术操作成本。

佳能于2023年10月推出新型FPA-1200NZ2C纳米压印光刻机，可将电路图案直接印在晶圆上，佳能强调了该设备的低成本和低功耗，其前景成为行业争论的话题。

佳能半导体设备业务部长Iwamoto Kazunori在解释纳米压印技术时表示，纳米压印技术就是把刻有半导体电路图的掩模压印到晶圆上。在晶圆上只压印一次，就可以在合适的位置形成复杂的2D或3D电路。如果改进掩模，甚至可以生产电路线宽达到2nm节点的产品。目前，佳能的纳米压印技术使图案的最小线宽对应5nm节点逻辑半导体。

佳能表示，FPA-1200NZ2C纳米压印光刻机将在2024年至2025年出货。

（校对/刘昕炜）