上海大学微电子学院在硅基偏振不敏感光子滤波器研究上取得进展

集微网消息，近日，上海大学微电子学院集成光子芯片团队在硅基偏振不敏感光子滤波器研究上取得进展，成果被国际知名光学期刊《Optics Express》接收发表，题为“Demonstration of polarization-insensitive optical filters on silicon photonics platform”。

图片来源：上海大学

本论文对偏振不敏感的光子滤波器进行了深入研究，采用偏振分集与微环谐振滤波相结合的方案，提出了一种新的结构紧凑的设计，在SOI上实现了偏振不敏感的光子滤波器。芯片采用CMOS兼容工艺在8英寸SOI晶圆上完成制作。测试结果表明器件在C波段实现了“箱型”滤波谱线，具有~0.15 nm的3 dB带宽和大于30 dB的高消光比。该工作为在SOI上构建偏振不敏感的集成光子回路与系统提供了一种潜在的解决方案。

据悉，上海大学微电子学院成立于2019年11月，为上海大学与上海微技术工业研究院、中国科学院上海分院、嘉定区政府、集成电路全产业链创新企业共建，积极探索新机制，集聚社会优质资源，打造上海大学国际领先的集成电路超越摩尔人才培养高地。其前身是1958年嘉定校区成立的半导体器件与物理专业。（校对/Ray）