4月19日上午举行的2021年度业绩说明会上，华特气体董秘万灵芝表示，该公司在研项目中30%以上投入以研发刻蚀气体为主，2022年将重点突破以高纯二氧化硫、四氟化硅等为主的刻蚀类产品。
根据此前已经发布的2021年度报告，华特气体当年实现营收13.47亿元，同比增长34.78%，其中“光刻及其他混合气体”实现营收2.02亿元，同比增长73.60%，为公司第二大增长品类。（校对/乐川）
华特气体：公司2022年将重点突破刻蚀类产品
来源：爱集微
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李沛
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