2026年11月2日，苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司深硅刻蚀设备采购（第三次）项目正式发布中标结果公告。
本次项目编号为0675-264JOC108250，招标范围为深硅刻蚀设备，由江苏海外集团国际工程咨询有限公司担任招标机构，开标时间为2026年10月14日14:30，公示时间为2026年10月27日17:06至2026年10月30日23:59。
本次项目中标人为合肥微芸半导体科技有限公司，对应设备制造商为微芸科技，制造商所属国家或地区为中国。
【中标】苏州工业园区纳米产业技术研究院深硅刻蚀设备采购（第三次）中标结果公布
来源：爱集微
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