从2000腔到8000腔:盛美上海的"中国芯"湿法设备进阶之路

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近日,海望资本重点投资企业盛美半导体设备(上海)股份有限公司(下称“盛美上海”)迎来重要里程碑——湿法设备第8000腔正式交付。

从2021年10月第2000腔交付,到2022年11月突破3000腔,2024年3月达到4000腔,再到如今跨越8000腔大关,这不仅是一组数字的持续增长,更是一家中国半导体设备企业实现技术突破、规模落地、全球拓展的成长缩影,印证了市场客户对国产设备的认可。而在这条产业跃迁的道路上,也始终有着海望资本的陪伴。

01 8000腔:半导体湿法设备的硬实力刻度

芯片制造,是一场发生在硅片之上的纳米级精密加工。指甲盖大小的芯片内部,集成上百亿个晶体管。如同精密手术离不开无菌环境,芯片每一道工艺之间,都必须完成硅片清洗,彻底清除表面微颗粒与工艺残留,微小瑕疵就可能造成整片晶圆报废。

湿法清洗设备,正是晶圆产线守护洁净的核心装备。一台设备、一个工艺腔体,凝聚着材料、工艺、控制、软件的多重技术沉淀。湿法设备投入产线后,需要7×24小时长年稳定运行。对晶圆厂而言,采购设备,本质是对良率与产能的保障。8000腔的交付规模,是下游市场给出的信任,也是国内半导体设备企业参与全球竞争交出的实战答卷。

据盛美上海对外信息显示,目前其产品矩阵可覆盖晶圆制造 90‑95%的清洗工艺步骤;根据Gartner统计数据,公司清洗设备全球市占率约8.0%,位列全球第四,也是全球清洗设备第一梯队中唯一的中国厂商。除国内晶圆厂之外,设备已经进入韩国、美国、中国台湾及东南亚客户,国产湿法设备持续切入全球半导体供应链。

02 突围技术壁垒,从“无人区”到“主战场”

8000腔的背后,是盛美上海长期持续的技术攻坚。对于海望资本而言,这份交付成果,也是一直以来坚持硬科技长期主义的有力注脚。

国内半导体设备产业起步相对较晚,高端湿法清洗市场长期由海外巨头主导,技术壁垒与专利封锁,是国产设备必须翻越的大山。

2005年,归国的王晖博士创立盛美半导体,彼时国内单片清洗设备几乎处于空白。企业没有选择模仿跟进,而是立足底层原理自主创新,先后研发出SAPS、TEBO两代兆声波清洗技术,以及Tahoe单片槽式组合清洗技术,搭建起差异化专利壁垒。

通俗来讲,传统清洗类似高压水枪冲刷;盛美的兆声波清洗,如同一双精密的“声波之手”,在纳米尺度剥离杂质颗粒,兼顾清洗能力,同时避免损伤硅片上的微观器件结构。

如今盛美上海早已不止聚焦清洗单一赛道。依托“技术差异化、产品平台化、客户全球化”战略,企业已布局八大产品板块:包含清洗设备、电镀设备、晶圆级先进封装设备、立式炉管设备、涂胶显影设备、PECVD设备、面板级先进封装设备、无应力抛光设备等。

AI 算力浪潮带动先进封装技术迭代,面板级封装成为高潜力赛道。盛美上海提前布局,推出面板级水平式电镀、负压清洗、边缘刻蚀三款设备,卡位扇出型面板级封装市场。对产业趋势的前置研判,正是硬科技设备企业穿越周期的核心能力。

03 耐心资本相伴,与硬科技企业共成长

作为投资方,海望资本见证了盛美上海从技术攻关、产品落地,再到立足国内、拓展全球的一次次跨越。

投资半导体设备,本质是投资国内集成电路产业自主可控的未来。这条赛道壁垒高、研发投入大、回报周期漫长,既需要企业家十年磨一剑的定力,也需要资本具备陪伴产业成长的长远眼光。

盛美上海坚持技术差异化、产品平台化、客户全球化的发展路径,凭借8000腔的交付实绩,在全球湿法清洗赛道占据重要席位。8000腔既是里程碑,更是全新起点。它的成长轨迹,既是国产设备从国产替代迈向全球竞合的真实样本,也印证了硬科技产业与耐心资本共生共荣的内在逻辑。

面向未来,海望资本将持续以耐心资本赋能硬科技,陪伴更多科创企业成长突破,持续助力国内半导体产业自主自强。

责编: 集小微
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