【IC风云榜候选企业40】深耕十年成就细分领域“隐形冠军”,维普半导体为芯片制造装上“国产慧眼”

来源:爱集微 #投资年会# # IC风云榜# #维普半导体#
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【编者按】自2020年举办以来,IC风云榜已成为半导体行业的年度盛事。今年进一步扩容升级,共设立三大类73项重磅大奖,覆盖投资、上市公司、市场、AI、具身智能、职场、知识产权、汽车、海外市场九大核心领域,全方位挖掘半导体产业各赛道的标杆力量。评委会由超过100家半导体投资联盟会员单位及500+行业CEO组成。获奖名单将于2026半导体投资年会暨IC风云榜颁奖典礼上揭晓。

【候选企业】常州维普半导体设备有限公司 (简称:维普半导体)

候选奖项】年度技术突破奖

候选产品Mask 图形缺陷检测设备-STORM 5000

在半导体制造工艺日益精密的当下,光掩模作为芯片设计的“底片”,其缺陷检测的精度与效率直接决定了芯片的良率与性能。这一细分领域的检测设备长期被国际巨头垄断,成为制约我国集成电路产业链安全的关键环节之一。在此背景下,常州维普半导体有限公司深耕半导体光学缺陷检测设备领域,2016年其子公司江苏维普光电成立并作为国内首批从事半导体光掩模检测设备企业,逐步成长为细分领域的“隐形冠军”。

维普半导体总部位于江苏常州,旗下拥有江苏维普光电科技有限公司与西安维纳芯半导体技术有限公司两家全资子公司,构建了覆盖华东与西部地区的研发与产业布局。该公司产品线涵盖IC掩模缺陷检测、大尺寸掩模缺陷检测及晶圆缺陷检测三大领域,形成5大类产品矩阵。其核心产品STORM系列半导体掩模检测设备已累计销售超60套,可满足130nm制程要求,全面覆盖国内主流Mask shop及业界头部客户,在国内市场树立了坚实的品牌影响力。

维普半导体已获得国家高新技术企业、江苏省专精特新中小企业、江苏省瞪羚企业等多项重要资质认定,其STORM 3000设备被认定为江苏省重点推广应用的新技术新产品。

凭借在技术创新与产业应用方面的突出表现,维普半导体携其第四代IC Mask缺陷检测产品STORM 5000,竞逐“IC风云榜”年度技术突破奖。该奖项旨在表彰2025年度在前沿技术领域开展原始性重大技术创新,达到国际先进/领先水平,并对推动我国集成电路产业链自主安全可控发展发挥重大作用的企业。

STORM 5000是维普半导体在STORM 3000成熟应用基础上,通过对光学系统、软件算法的全面升级而推出的新一代检测方案。该设备可为65/45nm及以上节点Reticle制造及晶圆制造过程提供高效检测,新增SDB、DD+SL同步检测、AI模型等先进特性,更好地支持PSM掩模,并能有效抑制因该结点下的OPC修正引入的假缺陷,展现出卓越的技术创新性。

在关键技术方面,STORM 5000实现了多项突破:采用基于UV激光的超高分辨率光学系统,支持反射光与透射光同时检测;配备纳米级运动控制系统和基于硬件的实时聚焦技术;构建分布式高性能计算系统,具备基于GPU的数据文件处理能力;搭载基于模型的DB算法,支持SDB、SL、DD、DD+SL等多种检测模式。其核心性能指标达到行业先进水平,在DB检测精度方面初步实现对30纳米级别图形尺寸缺陷的精准捕捉,SL模式下颗粒检测能力达55纳米,检测捕获率超过99%,GPU多通道检测时长控制在50分钟以内。在知识产权布局方面,维普半导体在STORM 5000系列研发过程中已累计获得17项专利,其中发明专利10项,实用新型及外观专利7项,核心专利全面覆盖光学成像、缺陷检测方法、运动控制等关键技术领域。

市场应用方面,STORM系列设备已成功进入中芯国际、迪思微、中微掩模、路维光电、睿晶半导体、龙图光罩、清溢光电等国内主流客户,并获得国际客户Photronics、Tekscend的验收与复购。维普半导体以产品品质稳定、性价比高和响应迅速著称,被客户誉为“维普维普,十分靠谱”的半导体量检测设备供应商。

【奖项申报入口】

2026半导体投资年会暨IC风云榜颁奖典礼将于2025年12月在上海举办,奖项申报已启动,目前征集与候选企业/机构报道正在进行,欢迎报名参与,共赴行业盛宴!

年度技术突破奖

“年度技术突破奖”奖项旨在表彰2025年度于前沿技术领域开展原始性重大技术创新,达到国际先进/领先水平,未来或产生重大经济社会效益,对于推动我国集成电路产业链自主安全可控发展发挥重大作用的企业。

【报名条件】

1、深耕半导体某一细分领域,2025年发布的新技术或产品具有原始性重大技术创新,达到国际先进/领先水平。
2、产品应用范围广,具有良好市场前景,对全球及国内半导体产业发展起到重要作用。

【评选标准】

1、技术的原始创新性50%。
2、技术或产品的主要性能和指标30%。
3、产品的市场前景及经济社会效益20%。

责编: 刘洋
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