中科飞测首台晶圆平坦度测量设备出货HBM客户端

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11月22日,中科飞测(证券简称:中科飞测)宣布,公司首台晶圆平坦度测量设备——GINKGOIFM-P300已成功出货至HBM客户端。这一里程碑事件标志着我国在晶圆平坦度测量领域实现了重大突破,打破了国外厂商的长期垄断。

据中科飞测公告,GINKGOIFM-P300设备具备多项创新技术,能够突破国内设备对超高翘曲晶圆、低反射率晶圆的量测限制。该设备不仅支持键合后晶圆的全参数检测,还能适用于化合物半导体衬底(如SiC/GaAs)的检测需求。

此次出货的GINKGOIFM-P300设备,是中科飞测在晶圆测量技术领域多年研发成果的集中体现。设备的成功推出,不仅提升了公司在半导体设备市场的竞争力,也为国内半导体产业链的自主可控提供了有力支撑。

长期以来,晶圆平坦度测量设备市场一直被国外厂商垄断,国内企业在该领域的技术积累相对薄弱。中科飞测通过持续的技术创新和研发投入,成功突破了关键技术瓶颈,填补了国内空白。

中科飞测表示,未来将继续加大研发投入,进一步提升产品性能和技术水平,满足市场多样化需求。同时,公司也将加强与客户的合作,优化产品服务,确保设备在客户端的稳定运行。

此次GINKGOIFM-P300设备的成功出货,不仅是中科飞测发展历程中的重要里程碑,也是我国半导体设备行业迈向自主创新的坚实一步。

责编: 邓文标
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