2025年4月10日,佛山清溢光电高精度掩膜版生产基地建设项目现场顺利举行首台曝光机搬入仪式。清溢光电项目团队与迈康尼装机团队共同见证该台曝光机吊装平稳入驻厂房这一里程碑时刻。此台主设备的顺利搬入,标志着佛山清溢光电高精度掩膜版生产基地正式进入设备搬入及安装调试阶段,竣工进入倒计时。
(来源:深圳清溢光电股份有限公司)
2023年12月15日,深圳清溢光电股份有限公司与佛山市南海区政府签约,将佛山生产基地落户南海区丹灶镇。清溢光电当时消息指出,佛山生产基地,计划投资35亿元,整体用地约80亩。佛山基地主要包含2个项目内容,即高精度掩膜版生产基地建设项目、高端半导体掩膜版生产基地建设项目。其中,高精度掩膜版生产基地建设项目侧重于高精度平板显示掩膜版的研发与生产,将直面全球显示技术变革。而高端半导体掩膜版生产基地建设项目,则着眼于半导体掩膜版的生产。
据佛山工信消息, 2024年3月18日,总投资35亿元的深圳清溢光电股份有限公司“平板显示及半导体用掩膜版”生产基地(佛山南海)建设项目开工。清溢光电佛山生产基地项目将建设平板显示配套掩膜版生产线和半导体IC配套掩膜版生产线。未来,将实现250-28nm光掩膜版量产,满足8寸和12寸晶圆厂掩膜版需求。
2025年1月6日,深圳市清溢光电股份有限公司佛山生产基地“高精度掩膜版生产基地建设项目”举行封顶仪式。
清溢光电自1997年创立以来一直专注于掩膜版的研发、设计、生产和销售业务,是中国本土领先的以研发、生产、销售平板显示和半导体掩膜版为主营的掩膜版企业,同时也是领先的平板显示掩膜版企业之一。
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