天眼查显示，北京北方华创微电子装备有限公司“一种射频功率合成装置及其应用设备”专利公布，申请公布日为2024年12月31日，申请公布号为CN119231137A。
本发明实施例提供了一种射频功率合成装置及其应用设备，涉及半导体技术领域，包括：功率合成模块与多个射频电源的功放模块连接，用于接收多个所述功放模块输出的射频功率，并将多个所述射频功率合成为输入射频信号；阻抗变换模块与所述功率合成模块输出端连接，用于对所述输入射频信号进行阻抗匹配生成输出射频信号；定向耦合器与所述阻抗变换模块输出端连接，用于对所述输出射频信号进行信号采集，生成射频信息；控制模块信号输入端与所述定向耦合器输出端连接，输出端与所述功放模块连接，用于基于所述射频信息控制所述功放模块的射频功率输出。通过本发明实施例在不改变原有射频电源结构的基础上，实现多射频功率合成功能，调整功率射频输出。
