多家日本企业进军8英寸键合碳化硅衬底市场

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键合碳化硅衬底为通过在低电阻多晶SiC支撑衬底上键合一层高质量的单晶SiC薄层,这些产品能够在保持单晶SiC特性的同时,也能实现整个衬底的低电阻和减少电流衰减,从而实现高性能和有竞争力的价格。近期,住友金属,Resonac(原昭和电工)以及东海碳素等日本企业纷纷进军该领域。

9月24日,Resonac(原昭和电工)官网宣布,他们与Soitec签订了联合开发协议,双方将共同开发8英寸SiC——Resonac将在8英寸衬底制造中采用Soitec的SmartSiC™技术,最终提高8英寸碳化硅外延的生产效率,并实现碳化硅外延片业务供应链的多样化。

9月27日,住友金属矿山株式会社及其全资子公司Sicoxs Coparation宣布,将在Sicoxs的Ohkuchi工厂建设一条新的8英寸(200mm)SiCkrest大规模生产线,SiCkrest为直接键合的碳化硅(SiC)衬底。住友金属预计,随着8英寸衬底生产线的建成,到2025财年下半年,键合SiC衬底的月产能将超过10,000片(6英寸等效)。同时,Sicoxs还计划开始向其被许可方供应多晶SiC支撑基板。

8月,碳和石墨产品综合制造商东海碳素(Tokai Carbon)拟投资54亿日元在日本神奈川县茅崎市建立一条多晶SiC晶圆专线,并预计将于2024年12月完成建设。东海炭素开发的用于功率半导体的SiC晶圆,被称为“层压SiC晶圆”。层压SiC晶圆是通过将带有预刻槽的单晶SiC晶圆与多晶SiC晶圆键合,然后加热剥离刻槽部分,在作为衬底的多晶SiC晶圆上形成单晶SiC薄膜而制成的。由于单晶SiC层是薄膜,单晶SiC晶圆可重复使用10次以上,一张单晶SiC晶圆可生产10张以上的键合晶圆。

此前报道,今年5月,东海炭素与法国半导体材料制造商Soitec就多晶SiC晶圆达成合作,公司将在中长期内为Soitec供应6英寸和8英寸多晶SiC晶圆。

除了在日本茅崎市基地设立多晶SiC专线外,东海炭素还计划在其位于韩国京畿道安城市的现有工厂生产多晶SiC。

责编: 姜羽桐
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