据天眼查显示，西安奕斯伟材料科技股份有限公司“一种外延工艺处理设备及其清洁方法”专利公布，申请公布日为2024年8月9日，申请公布号为 CN118461132A。
本公开提供一种外延工艺处理设备及其清洁方法，该设备包括装载锁闭腔室、缓冲腔室、外延反应腔室、尾气监测机构及控制机构，尾气监测机构用于分别获取装载锁闭腔室、缓冲腔室和外延反应腔室中各腔室的尾气信息，并基于尾气信息，判断装载锁闭腔室、缓冲腔室和外延反应腔室各个腔室的腔室环境状态，尾气信息包括颗粒物尺寸、尾气组成成分、尾气温度中的至少一项；控制机构用于基于腔室环境状态，按照预设的预处理操作标准，控制对各腔室进行对应的预处理操作。本公开提供的外延工艺处理设备及其清洁方法，能够及时监控外延工艺处理设备各个单元的颗粒状态，并做出调整，以减少损失。
