天眼查显示，深圳飞骧科技股份有限公司“体声波谐振器及其制备方法”专利公布，申请公布日为2024年7月16日，申请公布号为CN118353406A。
本发明涉及射频通讯技术领域，提供一种体声波谐振器及其制备方法，制备方法包括以下步骤：步骤S1、光敏玻璃衬底进行掩膜版下紫外曝光；步骤S2、对光敏玻璃衬底进行退火，形成结晶化的牺牲层；步骤S3、在光敏玻璃衬底生长形成种子层；步骤S4、在种子层生长下电极；步骤S5、在下电极的上表面和种子层的上表面生长形成压电材料层；步骤S6、在压电材料层的上表面生长上电极；步骤S7、对压电材料层进行刻蚀，露出下电极；步骤S8、刻蚀通孔；步骤S9、通过通孔释放刻蚀气体或溶液，对牺牲层进行刻蚀，形成空腔。本发明能够减少工艺步骤，降低工艺难度和减少成本，降低谐振器插损，提高结构稳定。
