天眼查显示，苏州敏芯微电子技术股份有限公司近日取得一项名为“加速度传感器结构与加速度传感器”的专利，授权公告号为CN117647662B，授权公告日为2024年4月5日，申请日为2024年1月30日。
本发明公开了一种加速度传感器结构与加速度传感器，其中加速度传感器结构包括：活动质量块上设有沿其厚度方向贯穿的容置槽；容置槽内设有锚点和两组惯性单元；针对一惯性单元，惯性单元包括至少一对180°旋转对称的惯性组件；惯性组件包括感测结构、弹性梁以及耦合梁；感测结构通过弹性梁与锚点连接，感测结构关于感测轴方向的一侧设有弹性方向与感测轴方向垂直的耦合梁；耦合梁连接活动质量块和感测结构；感测结构包括至少一个用于响应感测轴方向上的加速度的电容；两组惯性单元的彼此的感测轴方向相互垂直。本发明避免非感测轴方向的干扰模态影响活动质量块使其发生面内的扭转，提高测量结果的准确性和产品的可靠性。
