敏芯股份是全球先进的MEMS传感器制造商。基于十余年的创新研发，拥有基于自主研发、自有知识产权的MEMS / ASIC芯片的MEMS声学传感器、压力传感器、加速度传感器等产品线。
敏芯股份从2019年开始着手MEMS微差压传感器的研发，并将此技术尝试在电子雾化器产品中推广运用。截至2024年Q1，已经整整历经5年的产品研发及迭代，技术遥遥领先其他MEMS友商。目前雾化解决方案上的专利已申请发明专利19项，实用新型专利25项，已授权28项。
传统方案的微差压方案与敏芯股份MEMS结构的产品结构差异如下：
经过大量实验验证证明，敏芯股份MEMS方案较传统方案在产品触发压力的一致性以及可靠性方面更优秀。可靠性方面优势明显的项目包含：高温烟熏实验，滴油实验以及不同温度下触发压力的稳定性。
从MEMS微差压传感器的市场反应以及出货数据看，MEMS方案将逐步替代传统的咪头结构方案。敏芯股份也将加大投入，进一步配合市场的需求以及产品转型，为电子雾化市场提供性能更优可靠性更强的MEMS产品。截至2024年03月，MEMS微差压传感器已累计出货超过1亿只。出货种类主要为：MEMS开关咪、MEMS空咪(MEMS only)、MEMS方案模组。为了应对业内世界头部客户的市场需求，敏芯股份已经具备了超过每月5000万只的封测产能，并将在2024年内根据客户需求，持续提升封测产能至每月一亿只。
敏芯股份下一代MEMS微差压传感器的开发将会围绕产品可靠性性能的进一步提升以及为客户提供全方位的解决方案，并推出新一代更具市场竞争力的产品。
典型的产品外观图如下图：
1）图为开关型MEMS微差压传感器，新的焊盘设计增强了产品焊接的牢固度。
输出类型：中断输出
触发压力：中心值可调
吸气方向：金属壳与PCB面可选
频率输出：可选
金属壳贴膜：可选
典型应用电路：
2）图为MEMS微差压传感器（MEMS only）
输出类型：电容
初始容值：2.2pf
吸气方向：金属壳与PCB面可选
特性：防油防反吹设计
典型应用电路：
3）图为功能集成MEMS微差压传感器
输出类型：恒压输出
触发压力：-100~-200Pa
吸气方向：金属壳面吸气
充电功能：可选
静态电流：Typ2uA
LED控制：支持
发热丝阻抗：支持最低1.0Ω
其他特性：防油防反吹设计，支持短路保护，过流保护，过热保护，过充保护等多重保护
功能框图：
