天眼查显示，苏州敏芯微电子技术股份有限公司近日取得一项名为“一种MEMS麦克风结构”的专利，授权公告号为CN117528368B，授权公告日为2024年3月26日，申请日为2024年1月8日。
本发明提供了一种MEMS麦克风结构，包括：基板；封装壳体，封装壳体设置在基板的表面上，与基板围成空腔；在基板朝向空腔的一侧设置有MEMS芯片和ASIC芯片，MEMS芯片与ASIC芯片电连接，ASIC芯片电连接于通过基板上；ASIC芯片包覆有至少一层保护层，至少一层保护层包括铁磁性物质，铁磁性物质在保护层中所占的体积比例为3%~6%。本发明能够吸收外界电子设备产生的电磁波，屏蔽外界电磁波的干扰，有效提升了MEMS麦克风的抗辐射抗干扰能力，以屏蔽外界电磁波的干扰，提高了信号转化强度，提升了MEMS麦克风结构与终端电路板上集成的其他各微电子器件的电磁兼容度。
