盛美上海强势登陆SEMICON China 2024,产品矩阵诠释行业领军地位

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3月20日-22日,SEMICON China2024在上海新国际博览中心盛大举行。作为国产设备龙头企业,盛美上海携一众产品及半导体设备工艺解决方案亮相,重点展示了其清洗设备、镀铜设备、炉管设备、全套先进封装湿法设备、Track设备和PECVD设备等一系列产品的技术先进性与工艺优势。

成立于2005年的盛美上海,致力于研发、制造和销售集成电路湿法工艺设备,并为半导体制造商提供定制化、高性能、低消耗的工艺解决方案,已发展成为国内集成电路湿法清洗设备和电镀设备龙头企业。具体来看,目前盛美上海产品涵盖清洗设备、半导体电镀设备、立式炉管系列设备、前道涂胶显影Track设备、等离子体增强化学气相沉积PECVD设备、无应力抛光设备;后道先进封装工艺设备以及硅材料衬底制造工艺设备等,其中Track和PECVD设备是新开发中的设备。

掌握硬核技术,精进龙头产品

经过多年的技术研发和工艺积累,盛美上海已掌握SAPS/TEBO、Tahoe、无应力抛光、电镀等核心技术,部分核心技术已达到国内领先或国际领先的水平。这些核心技术在盛美上海销售的产品中得以持续应用,不仅铸就了盛美上海产品的独特竞争优势,更使其在激烈的市场竞争中脱颖而出。

盛美上海在半导体清洗设备、半导体电镀设备、立式炉管设备和先进封装湿法设备产品领域均掌握了相关核心技术,并在持续提高设备工艺性能、产能,提升客户产品良率和降低客户成本等方面不断进行创新。

Gartner数据显示,2022年盛美上海在全球单片清洗设备的市场份额已升至7.2%。现阶段,清洗设备是盛美上海第一大收入来源,第二部分来源于镀铜设备和炉管设备,第三部分是封装设备,这三部分是盛美上海的龙头产品。

盛美上海2023年度业绩报告显示,其2023年实现营业收入为38.88亿元,同比增长35.34%。分产品来看,半导体清洗设备实现营收为26.14亿元,营收占比67.23%,同比增长25.79%;其他半导体设备(电镀、立式炉管等设备)营收为9.4亿元,同比增长81.57%;先进封装湿法设备营收为1.6亿元,同比增长0.09%。

目前,盛美上海清洗设备包括背面清洗、边缘刻蚀清洗、单片高温SPM清洗设备、单片槽式组合SPM清洗以及超临界CO2清洗等,能够覆盖的清洗步骤已达到90-95%左右,是全球范围内覆盖范围最广的厂商,同时盛美上海也在针对现有清洗设备不断进行改进、优化、迭代更新,继续加大研发投入。

设备交付数量节节高,市场占有率稳步提升。盛美上海于2022年11月突破3000腔,2024年3月6日4000腔的里程碑也已达成。随着盛美上海现有清洗设备的精进以及市场的持续开拓,预计很快将能够实现中国市场55%-60%的市场占有率目标。

优化产品布局,持续开拓市场

目前来看,2024年度中国半导体设备市场前景良好,无论是头部厂商还是二三线梯队厂商,都表现出对半导体设备的强劲需求。作为行业领军企业,在制程、存储和逻辑领域的产品和技术优势将为盛美上海营收增长提供有力保障。

从产品布局看,盛美上海持续做优、做精现有设备,并通过延伸开发丰富产品种类。除清洗设备外,盛美上海亦积极扩大产品组合,在半导体电镀设备、半导体抛铜设备、先进封装湿法设备、立式炉管设备、前道涂胶显影(Track)设备、等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备等领域扩大布局。

在半导体电镀设备领域,盛美上海自主开发针对28nm技术节点的IC前道铜互连镀铜技术Ultra ECP map。

在先进封装湿法设备方面,目前盛美上海是全球先进封装湿法设备线种类最齐全的企业,如清洗、湿法刻蚀、涂胶、显影、去胶、电镀以及抛光设备(如电抛光)等都已用于多家客户端大生产线。

在立式炉管设备领域,盛美上海研发的产品主要包括低压化学气相沉积炉、氧化退火炉、合金炉和原子层沉积炉。据了解,2023年,盛美上海以Ultra Fn立式炉设备平台为基础,结合之前推出的具有自主知识产权的差异化的热原子层沉积炉管技术(Ultra FnA),进一步研发了等离子原子层沉积立式炉Ultra FnA。该原子层沉积炉管技术提供更好的台阶覆盖率,缩短原子层沉积循环时间以增加设备产出。

盛美上海预计立式炉管设备2024年将会放量贡献营收。此外,盛美上海正加快Track和PECVD设备验证及新客户开拓,预计Track设备、PECVD设备到2025年开始放量贡献营收。

在前道涂胶显影(Track)设备领域,其前道涂胶显影Ultra LithTM Track设备是一款应用于300毫米高产出的前道集成电路制造工艺的设备。在等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备领域,其Ultra PmaxTM PECVD设备配置自主知识产权差异化的腔体布局、气体分配装置和卡盘设计,能够提供更好的薄膜均匀性、更优化的薄膜应力和更少的颗粒特性。

作为一家具备世界卓越技术的半导体设备制造商,凭借领先的技术和丰富的产品线,盛美上海已发展成为中国大陆少数具有一定国际竞争力的半导体设备供应商。盛美上海也将始终坚持“技术差异化,产品平台化,客户全球化”的发展战略,不断提升技术水平和产品质量,为全球客户提供更优质的服务和解决方案。

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