炬光科技:产品已经用于KrF、ArF、ArF浸没式等DUV光刻机

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集微网消息,近日,有投资者在投资者互动平台提问:公司作为光场匀化器龙头,在已经有成熟的DUV用基础上是否有EUV光刻机的研究开发工作?

炬光科技(688167.SH)9月18日在投资者互动平台表示,公司的光场匀化器产品供应给世界顶级光学企业A公司,最终应用于全球高端光刻机生产商的核心设备。公司根据客户的不同型号需求,匹配不同波长的光场匀化器,目前产品已经用于KrF, ArF, ArF浸没式等DUV光刻机。公司光场匀化器产品目前没有用于EUV光刻机,由于EUV光刻机和DUV光刻机光学工作原理不同。

截至发稿,炬光科技市值为83.41亿元,股价为92.30元/股,较前一日收盘价下跌2.72%。

责编: 黄仁贵
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