陆晶：敢为人先，因地制宜，实现超大面积洁净室标准突破

 陆晶，中电二公司电子行业设计专家，专注于半导体晶圆制造、芯片制造、先进封测等专业领域项目的设计与建设。拥有二十余年从业经验的他，在洁净室大跨度生产区高精度温度控制及半导体工厂空调系统节能减排设计方案的优化上取得了突出业绩。

陆晶 中国电子系统工程第二建设有限公司

设计总院副院长 上海分院院长 

陆晶主导、参与的项目（部分）

无锡12英寸先进半导体项目   设计经理

核心成果

通过模拟验证的方式，优化了厂房的整体设计，将国内最大回风跨距63m厂房的温度精准的控制在了标准之内。建设完成后，通过调试运维来验证模拟的实际效果，证实模型与最终实际场景匹配度高达100%。

采用CFD模拟仿真技术，通过在不同条件和状况下的温度影响变量的模拟，结合同类型项目累积的实测数据，在满足精度控制需求的前提下，成功将FFU整体布置率从50%降低到35%，

客户价值

该项目节省了部分设备和设置，为客户节省造价600万，同时降低环境运维成本15%以上，仅黄光区就能节省电费30-60万元/年。

上海14nm洁净室扩充项目   设计经理

核心成果

该项目在一期洁净室正常生产的情况下，进行了施工扩充，面临AMC，施工振动，噪声等多重影响生产的因素控制，通过从设计方案入手合理规划改造顺序，改善施工方案，最终在没有影响一期洁净室正常生产的情况下完成了扩充建设。

客户价值

在国内最严格的环境管控条件下，顺利完成了扩充建设，没有造成大范围停工减产。

淄博6英寸碳化硅芯片项目  设计经理

核心成果

该项目位于产业园区内，因原规划单位不懂半导体，所以场地预留不足，在仅有的场地空间内，合理规划各类生产辅助区域，避免交叉污染。针对洁净区提高了室内控制温度，由22℃提高至23℃，冷冻水出水温度由6℃提高至7℃，提高了冷冻机COP，降低能耗，对工艺生产也无任何影响。

客户价值

地方产业园区规划不够专业，重新规划并满足了半导体车间的生产需求。合理提高室内控制温度，可以提高空调系统效率，降低10%能耗。

青岛12英寸线半导体项目  设计总监

核心成果

原有厂房按照普通制程标准进行建设，新的业主希望可以满足先进制程标准，针对该厂房进行了检查分析，根据原有设计方案，提供了一个基于先进制程标准的改造方案，并最终落实，目前已经达成业主初步工艺需求。

客户价值

针对一些已经建成但是规划落伍的厂房进行评估和升级，可以满足业主新的工艺需求，对于半导体这类变化快速的行业非常有借鉴意义。

蚌埠8英寸MEMS项目  设计总监

核心成果

推动针对EPC项目的正向设计，EPC项目采取正向设计可以有效节约建设周期，管控成本。

客户价值

正向设计可以节约项目建设周期，对于建设成本随时可控，非常合适变化较多的半导体EPC项目。

陆晶论文、专利、证书

参与工程建设强制性国家规范《电子元器件厂项目规范》等多项技术规范的编写

实用新型专利：《一种化学过滤器测量取样装置》

发表国家级期刊《智能城市》论文《半导体车间新风机组水洗喷淋加湿段选型探讨》

获得2016年“电子工程设计”一等奖、2020年“无锡市五一创新能手”等荣誉表彰

专家说：因地制宜，合适的才是最好的

面对行业内不加分析盲目采用国外项目经验导致建设成本和运维费用直线上升的现状，陆晶始终坚信“合适的才是最好的”。只有深入踏实的去研究工艺需求和地区差异，认真探究每一个数据的来龙去脉，大胆假设，小心求证，通过实验研究、仿真模拟和运维实测等方式去论证最适合项目制程的实际需求，才是打造出精品工程的唯一途径。也只有因地制宜，根据中国本土情况，用本土数据去验证，才能真正做到以国产化替代助力中国半导体行业实现从落后到赶超的逆袭。

图：陆晶在项目现场勘查（左一）

“值得肯定的是，先进的L-EPC模式为半导体厂房建设提供了全新的解决思路和办法，我们有足够的理由相信，未来以高效率建造、高技术水平、高质量管理为核心的EPC服务之路必将成为时代的主流。”陆晶说道。

图：陆晶与中电二公司EPC专家团队讨论EPC设计管理模式（右一）

作为国内高科技工业建筑领域EPC服务的领军企业，中电二公司将始终秉持“以终为始，精益建造”的L-EPC建造理念，持续培育更多半导体高精尖人才，不断强化技术创新能力与建筑全生命周期服务能力，为“切实降低工程内耗，坚定设计施工一体化”不断赋能，助力中国半导体崛起。