8月8日，福建省晋华集成电路有限公司存储器生产线建设项目中标结果公示，中标人为上海精测半导体技术有限公司，中标物为12吋扫描式电子显微镜。
上海精测半导体为武汉精测电子的控股子公司，上海精测通过自主构建研发团队及海外并购引入国产化等手段，实现半导体测试、制程设备的技术突破及产业化，快速做大做强。今年7月上海精测光学关键尺寸（OCD)测量设备EPROFILE300FD再度通过关键客户28nm工艺验证，顺利进入量产生产线并全面投入使用，获得多家客户高度认可。该设备的成功应用不仅填补了国内半导体测量设备领域的空白，也使上海精测成为现阶段国内在此领域唯-一成功应用于客户大生产线的OCD量测设备供应商。（校对/李沛）
