上海工研院面向MEMS的8寸研发中试线6月底将投运

　　近5000平方米的洁净室，每一块地板的孔洞数量，为了循环洗涤都经过精准计算。其中用来曝光和显影的“黄光区”，洁净度更高，1分钟内1立方英尺的空间大于0.2微米的微尘必须少于10颗。这里正是上海微技术工研院建设的国内首条专注“超越摩尔”领域，面向微机电系统的8寸研发中试线所在地。6月底，这条中试线将启动试运行。

　　到2020年，上海市将培育形成约30家研发与转化功能型平台，与张江综合性国家科学中心共同组成上海科创中心建设的“四梁八柱”。上海微技术工业研究院（简称工研院）正是第一个启动的平台。这家新型研发机构成立4年来，走过了一条不寻常的机制体制创新之路。

　　企业化运作的研发与转化平台

　　成立于2013年5月的上海微技术工业研究院，以上海新微技术研发中心有限公司为运营实体。与一般事业编制的研发机构不同，它是一家企业化运作的研发与转化功能型平台，其目标是打造世界级传感器及超越摩尔领域龙头新型研发机构。

　　“活”是企业最大的特点，工研院便在“活”上做足文章。以往从实验室研发出成果到量产，有很长的一段路要走，中试就是一个必经阶段。不过，中试在很多企业看来是一桩性价比很低的“买卖”，不仅要拿出原本赚钱的设备和生产线，还有可能遭遇失败。未来，8寸研发中试线建成后，不仅可以做研发，还可以实现小规模量产，加快产品市场化。

　　工研院充分发挥产业平台功能，和中科院上海微系统所联合产业资本设立了同华新微基金和“超越摩尔”产业基金。其中，“超越摩尔”产业基金由工研院、国家集成电路产业投资基金以及其他战略投资人共同发起成立，规模达50亿元。同华新微基金由工研院和同华投资集团共同发起成立，规模达20亿元。一旦有了好的项目，无需四处“化缘”，可以用产业基金直接投资，大大提高了资本运行效率。

　　“一辆车能跑多快，除了车的性能，更重要的是取决于开车的人。”8寸研发中试线运营副总裁游家杰说，超越摩尔是另辟蹊径的反向突破，要实现这一目标，需把人才作为第一资源。成立之初，工研院就建立了人才引进和股权激励机制，面向全球引进顶级人才及团队，并给予相匹配的市场待遇，目前已形成覆盖战略规划、研发、工程、运营和市场销售的150人团队，其中研发和工程人员比例高达80%。此外，以上海为中心，还在硅谷、台湾新竹、欧洲等地成立了研发中心，打造全球人才网络。

　　事前报批制改为事后考核制

　　为把体制创新再往前推一步，使得对工研院的稳定支持常态化，2016年10月27日，上海市科委、嘉定区人民政府与工研院签署了战略合作协议，加快“超越摩尔”核心技术研发。所谓“超越摩尔”，是指不再只遵循摩尔定律，在半导体工艺尺寸上越做越小，而是在成熟的工艺生产线上，研发非数字、多元化半导体技术与产品；不再跟在少数企业后面“较劲”，而在传感器等其他新兴技术领域实现“弯道超车”。

　　正如“超越摩尔”这一内涵的创新，市科委探索先“给钱”后“考核”的评价体系，工研院因此成为上海首个将事前报批制改为事后考核制的单位——前期研发阶段，政府给予稳定支持，并每年进行考核，以加快科技成果向市场的转化。在财政经费总量上，采用政府投入与单位绩效挂钩制度：公司运营收入高，政府投入也高，反之投入就少。同时，给予工研院在经费使用、人员聘任等方面的自主权，推动其在市场化环境中快速发展，整体带动上海半导体产业的转型升级。

　　由于传感器的更迭换代周期较短，先“给钱”后“考核”，无疑最大程度地争取了时间，加快了实验室的成果向市场转化。

　　提升产业链综合服务能级

　　机制体制上的创新，激发了这家研发机构的内在活力。市科委主任寿子琪曾表示，未来建成的30家研发和转化功能型平台，是直接支撑上海经济社会发展的基础性平台，要通过科技创新给上海带来实惠。近年来，工研院聚焦MEMS等先进传感器、第三代半导体材料及器件、射频器件和电路，以及高效太阳能电池等重点方向，实现了产业核心技术的新突破，已申请国际发明专利14件、国内发明专利111件。此外，工研院另一重要创新平台——硅光子集成工艺平台，在前沿基础研究与核心器件开发方面取得了良好进展，并将结合8寸研发中试线从整体上打通国内硅光子产业链，有望成为全球第三个先进的硅光子研发中试平台。随着产业核心关键技术的突破，工研院对整个产业链的综合服务能级也得到快速提升，已为华为、Vivo、中芯国际等50多家知名客户提供工程技术服务。

　　培育新业态和新产业，增强产业引领能力，同样是工研院作为研发与转化功能型平台的重要使命。工研院完成汽车雷达芯片项目的孵化，联合同华投资管理公司共同成立了汽车雷达芯片公司，打造国内自主知识产权的汽车雷达芯片产品；为实现HIT太阳能电池的规模化生产，工研院与中科院上海微系统研究所、三峡资本共同成立了一家产业化公司，总投资额约为5亿人民币。

　　为打造国内超越摩尔产业创新生态环境，工研院牵头成立了“中国传感器与物联网产业联盟”，目前成员数量已达300余家。由该联盟主办的中国（上海）国际传感器技术与应用展览会已得到国际同行和国内产业圈的普遍认可，成为国际三大传感器与物联网交流平台之一。

　　在成立之初，工研院对标的是欧洲最大的独立微电子研究中心比利时的IMEC；近期，双方就合资成立“IMEC中国研究院”达成基本意向，下一代智能汽车的无人驾驶、传感融合技术，将成为第一个合作方向。

　　勇立潮头者，胸中有丘壑。工研院创新勇气的背后，是对科技进步大方向、产业革命大趋势的把握。工研院的发展战略，紧跟的是国家集成电路发展战略，看好的是半导体新兴市场，倚重的是上海成熟的半导体产业优势。假以时日，这家新型研发机构必将带来更多的惊喜。