2026年10月27日，苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司发布深硅刻蚀设备采购（第三次）项目评标结果公示，该项目开标时间为2026年10月14日14:30。
本次公示的中标候选人共两名，第一中标候选人为合肥微芸半导体科技有限公司，对应制造商为微芸科技，产地为中国；第二中标候选人为上海邦芯半导体科技有限公司，对应制造商为上海邦芯半导体科技有限公司，产地为中国。
本项目招标编号为0675-264JOC108250，招标范围为深硅刻蚀设备，由江苏海外集团国际工程咨询有限公司担任招标机构，评标公示截止时间为2026年10月30日23:59。
