据“华睿投资”公众号6月4日消息，2026年5月，国内光掩膜厂商睿晶半导体迎来重要资本助力，华睿超材料基金完成对公司战略股权投资，资金将全部用于高端制程光掩膜技术研发、产线扩建与产业化落地，加速国内关键光刻材料自主化进程。
睿晶半导体是国内专注半导体光掩膜全流程研发制造的专精型企业，业务覆盖从基板加工、光刻胶涂布、精密图形制版到成品检测全链条，产品涵盖成熟逻辑芯片、功率半导体、存储芯片配套各档位掩膜版，同时布局先进制程高端掩膜研发。公司组建由材料、精密光学、微电子多领域人才构成的研发团队，深耕光掩膜核心工艺多年，已实现多款中端掩膜产品批量供货国内本土晶圆厂。
光掩膜作为芯片光刻环节必不可少的核心耗材，是集成电路制造的刚需关键材料，高端制程产品长期被境外企业垄断，也是国内半导体产业链国产化攻坚重点环节。伴随国内晶圆制造产能持续扩张，本土芯片厂商供应链自主化诉求提升，国产掩膜板迎来广阔替代空间。
依托华睿超材料基金的资金与产业链资源加持，睿晶半导体将加大前沿工艺研发投入，重点突破高端掩膜精密制版、缺陷管控等卡脖子技术，同步扩充自动化量产产线。投资方依托自身产业生态圈资源，协助企业对接国内头部晶圆、IC 设计企业，加快新品客户端验证节奏，缩短产品规模化落地周期。
随着资本落地与技术迭代提速，睿晶半导体有望持续扩充高端产品供给能力，填补国内高端光掩膜量产缺口，既帮助下游芯片制造企业优化供应链安全、降低进口采购成本，也进一步完善我国半导体光刻材料自主产业链布局。
（校对/李正操）
