2026年4月18日，沈阳芯源微电子设备股份有限公司发布2025年度可持续发展报告。
2025年，面对复杂外部环境，芯源微坚守半导体设备主业，新签订单及营收规模稳健增长，核心产品迭代及客户端验证有序推进，新产品研发及销售较快增长。公司营业收入由2019年的2.13亿元增长至2025年的19.48亿元，2025年营业收入同比增长11.11%；2019 - 2025年期间，营业收入复合年均增长率约为44.61%。
在公司治理方面，芯源微完善现代科学治理体系，修订多项制度文件，建立健全合规管理组织架构，开展合规培训。公司董事会多元化且独立，下设多个专门委员会。同时，优化薪酬管理，报告期末高管持股比例0.2065%。
环境绩效上，公司紧跟“碳达峰、碳中和”战略，革新生产工艺，搭建智能化能源管理体系，发展分布式光伏项目，减排温室气体821吨二氧化碳当量，环保投入89.86万元，光伏发电量达100万千瓦时。
创新研发领域，公司全年研发投入25,450.81万元，掌握多项核心技术，获得专利授权405项，深化产学研协同创新。
产品质量与服务方面，公司坚持“质量至上”，完善质量控制体系和营销服务体系，客户满意度达91%，客户投诉解决率100%。
人才与社会责任方面，公司着力打造人才队伍，完善培训体系，积极开展公益帮扶与志愿服务。
