国内外薄膜沉积设备公司 国内外薄膜沉积设备公司 光刻人的世界 9分钟 应用材料（Applied Materials, AMAT） 应用材料（Applied Materials，AMAT）的薄膜沉积设备产品线覆盖全面，主要包括物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）、电化学沉积（ECD）、外延（EPI）、高密度等离子体化学气相沉积（HDPCVD）、原子层沉积（ALD）以及流动式化学气相沉积（FCVD）等类型。具体设备系列及特点如下： 物理气相沉积（PVD）设备 Endura系列：用于沉积NiSi、CoSi、Ta/TaN、TiN、MgO等薄膜。 AXC...