台积电携手大咖攻晶圆材料

来源:经济日报 #台积电# #ASML#
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台积电(2330)后市看俏之余,公司也积极携手国际重量级伙伴部署更先进的技术,借此维持领先地位。

全球微电子及相关奈米技术重磅机构比利时微电子研究中心(imec)昨(16)日宣布,携手半导体微影设备龙头艾司摩尔(ASML)与台积电,共同发表一套创新、稳健且可扩充的12吋晶圆整合技术路径,用在基于2D材料的n型与p型场效电晶体(FET),推进12吋晶圆2D材料电晶体开发。

业界看好,相关创新突破,后续可望用于台积电推进埃米世代更先进制程发展,并且对在A10(1奈米)之后的制程材料突破与应用有正面帮助,让台积电坐稳全球晶圆代工一哥宝座。

台积电副总暨技术长曹敏表示,这为推进半导体创新发展提供重要动力,我们聚焦为从实验室迈向晶圆厂的技术转变降低风险和加速进展,确保开创性发现,特别是创新的通道材料,能够快速有效地整合到先进制造,最终提供顶尖的解决方案。

比利时微电子研究中心说明,相关新平台首次展示搭配50奈米闸极间距(CPP)的微型化nFET(采用二硫化钼作为通道材料)与pFET(二硫化钨或二硒化钨),并且取得良好的电流-电压特性。

这些成果象征着2D材料电晶体从实验室迈向晶圆厂的关键进展,预期用于超高度微缩化的逻辑元件,以及后段制程和晶背应用。

2D过渡金属二硫族化物(即TMD,例如二硫化钼、二硫化钨与二硒化钨)有望延伸并扩展逻辑微缩技术的发展蓝图。当这些材料取代矽材,并作为原子级超薄传导通道进行元件整合时,能够制出具备高性能的微缩化电晶体,对高度微缩的逻辑元件、后段制程与晶背应用具备发展潜力。

责编: 爱集微
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