打破高端光学检测壁垒 先导基电重磅发布850型超精密非接触轮廓仪

来源:爱集微 #先导基电#
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近日,先导基电(600641.SH)正式发布自主研发的850型超精密非接触轮廓仪。该产品核心传感器采用多波长干涉技术路线,整机检测尺寸达850mm,核心精度指标对标国际先进水平。这一突破不仅是公司高端科学仪器产品矩阵的重要拓展,更标志着公司在超精密光学检测领域实现了关键突破,为半导体及国产高端光学检测装备自主化发展注入新动能。

全球市场持续扩容 高端仪器国产替代提速

当前,全球科技创新和产业升级持续加速,半导体、新能源、生物医药以及新材料等战略性新兴产业快速发展,带来对高端科学仪器需求的不断增长。IMARC Group数据显示,2025年全球科学仪器市场规模已达483亿美元,预计到2034年将增长至702亿美元。国内市场同样增长向好,头豹研究所数据指出,2025 年国内科学仪器市场规模达465亿元,预计 2029年将跨越600亿元关口。

其中,高端光学检测设备正成为产业升级的重要支撑。从高端半导体光学设备物镜到天文观测系统,从非球面镜片到自由曲面光学元件,产业发展对检测精度、检测效率和检测范围提出了更高要求。

在市场需求快速扩张的背景下,国内高端科学仪器领域仍存在巨大国产替代空间。高端领域对海外产品的依赖尤为突出。在超精密检测等核心环节,海外设备长期占据市场主导,部分品类还面临进口禁运限制。而国内现有产品多数集中于中低端市场,在精度、量程及效率等关键指标上与国际先进水平仍存在差距,难以满足高端场景需求。

高端科学仪器是产业链自主可控的关键环节,也是我国重点攻坚的战略领域。国家“十五五”规划明确提出,将以超常规举措,全链条攻克高端仪器等领域核心技术。在政策扶持、产业升级与替代需求的多重驱动下,高端光学检测装备行业正迎来加速发展的重要窗口期。

对标国际标杆产品 850型实现关键能力突破

作为先导基电面向高端光学检测领域打造的标杆产品,850型超精密非接触轮廓仪全面对标国际标杆设备,并在部分关键指标上实现突破,具备高端国产替代能力。

非接触轮廓仪产品图

产品的核心传感器采用自主研发的超稳频多波长干涉测距系统,精度达到国际先进水平;采样率达到20kHz以上,较国际主流设备提升约8倍,可实现更高数据密度采集和更高效率检测。整机最大检测尺寸达到1000mm×250mm,覆盖先进制程光学系统核心元件的检测量程,

率先实现国内超大尺寸超精密光学检测设备的突破。

性能突破的背后,是一条覆盖核心光源、测量算法、精密机械到系统集成的全链条自主可控技术体系。依托控股股东先导科技集团在磷化铟(InP)等关键材料领域的深厚积累,公司实现超稳频激光器、窄线宽激光器等核心技术自主掌控,并结合多运动轴实时在线补偿、多维环境补偿模型等关键技术,保障设备在纳米级测量场景下的长期稳定运行。

对比动辄千万元级别的进口同类设备,850型产品在实现国际先进检测能力的同时,显著降低高端检测设备应用门槛,为高端光学制造企业、半导体产业链客户及科研院所提供更具竞争力的国产化选择。除光学设备超精密加工领域外,该设备在民用非球面镜片、自由曲面镜片检测领域同样具备广阔应用前景,广泛适用于光学非球面镜片、自由曲面镜片、微透镜阵列、红外镜片等产品的生产,市场采购需求日益增长。

从核心光源到测量算法,从精密机械到系统集成,850型超精密非接触轮廓仪实现了关键技术链条自主可控,提升了国产高端检测装备的新高度。

单点突破迈向体系布局 科学仪器业务全速崛起

850型超精密非接触轮廓仪的推出,绝非单点技术突破,而是先导基电持续深耕科学仪器领域的重要成果。公司围绕高端科学仪器领域持续加强技术积累和产业整合,不断丰富产品体系,拓展核心技术能力。

在微纳测量领域,先导基电通过收购国内领先的原子力显微镜公司——本原纳米,形成了覆盖显微镜、轮廓仪、白光干涉仪等产品体系。本原纳米拥有近40年技术积累,成功研制中国首台扫描隧道显微镜和原子力显微镜(AFM),长期服务于国内顶尖科研机构,并持续承担国家重大专项任务。在分析测试领域,先导基电旗下伍丰仪器深耕色谱行业30余年,形成覆盖液相色谱、气相色谱、离子色谱等在内的完整产品体系,累计服务客户超过1.2万家。

依托上述基础,先导基电已逐步形成覆盖色谱、光谱、质谱、显微镜及表面测量等领域的科学仪器产品矩阵。除成熟产品持续服务市场外,公司同时持续在高端质谱、电子显微镜、X射线仪器及高端量测设备等方向持续推进布局。

 

先导基电旗下科学仪器产品图谱

随着850型超精密非接触轮廓仪的推出,先导基电在高端测量装备领域再添重要拼图,主营业务加速向高端化、平台化方向发展。

依托集团底层能力 打造科学仪器自主化核心底座

科学仪器的核心,本质上是光学能力与探测能力的结合,最终取决于底层材料、核心器件和系统集成能力的竞争。公司能够持续突破关键技术,离不开控股股东先导科技集团从稀散金属到核心器件、从功能材料到系统集成的全链条能力赋能。

作为全球稀散金属龙头,集团镓、锗、锑、铋、硒、碲六大稀散金属产量全球第一,并围绕电磁波谱构建起覆盖从伽马射线、X射线、紫外、可见光、红外到太赫兹、毫米波及微波等全波段的光学能力。

依托材料优势,集团进一步延伸至晶体生长、超精密加工、光学镀膜、光学元器件制造以及系统集成等关键环节,形成从材料、器件、模块到整机系统的完整产业链布局,为高端科学仪器研发提供坚实支撑。

当前,高端科学仪器国产化正加速迈向深水区,自主可控已成为产业发展的核心方向。在市场需求的持续扩容、产业政策持续赋能的双重驱动下,国产仪器厂商的赛道红利持续释放。未来,公司将持续推进关键核心技术攻关,不断丰富科学仪器产品体系,加快高端检测与测量装备创新发展,为科技创新和高端制造提供更加自主、可靠、先进的国产解决方案。

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