集微网消息，3月21日，有投资者对南大光电提问“请问公司是目前国内第一家拥有ArF光刻胶生产线以及掌握相关技术的企业吗”？
南大光电在投资者互动平台表示，公司控股子公司宁波南大光电材料有限公司研发的ArF光刻胶，已在下游客户存储芯片50nm和逻辑芯片55nm技术节点的产品上通过认证，成为国内通过客户验证的第一只国产ArF光刻胶。目前有多款产品正在多家客户进行认证。（校对/韩秀荣）
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南大光电：研发国内通过客户验证的第一只国产ArF光刻胶
来源：爱集微
#光刻胶#
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03-21 18:01
责编： 赵碧莹
