荷兰拟实施DUV出口新规:ASML中国区回应 外交部表态

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集微网报道 (文/陈兴华荷兰政府于3月8日表示,计划对半导体技术出口实施新的管制,并加入美国对华芯片出口管制的行列。

随后,ASML在一份关于增加出口管制的声明中称,这些新的出口管制主要针对前沿芯片制造技术,包括最先进的沉积和浸没式光刻工具。由于这些即将出台的法规,ASML将需要申请出口许可证才能装运最先进的浸没式DUV(深紫外)系统。

对于已出售的相关型号设备维护和备件购买等服务是否因新规受限,ASML中国回应集微网称,出口限制将针对的是新设备和备件的发运,至于旧设备的维护是否受影响等更具体的信息尚无法获知。

新规预计夏季之前公布

在美国持续施压对华禁运关键半导体技术的情况下,荷兰政府正准备对半导体设备实施新的出口限制。

荷兰贸易部长列斯杰·施赖纳马赫尔(Liesje Schreinemacher)在致立法者的一封信中表示,荷兰政府考虑了“技术发展和地缘政治背景”,这些规定预计将在夏季之前公布。

她在信中没有具体提及中国和荷兰半导体设备主要供应商ASML,但指出其中一项将受到影响的技术是“DUV”光刻技术。“出于国家和国际安全考虑,有必要尽快控制这项技术。”

对此,ASML在上述声明中回应称,“额外的出口管制并不涉及所有浸没式光刻机,而只适用于‘最先进’系统。由于没有收到明确定义,ASML将“最先进”解读为“TWINSCAN NXT:2000i及后续浸没式系统。”另外,EUV光刻机销售自2019年以来就已经暂停。

根据官网公布的产品信息,ASML在售的浸没式DUV光刻机主要有三大型号:TWINSCAN NXT:2050i、TWINSCAN NXT:2000i和TWINSCAN NXT:1980Di。

图自ASML官网

根据ASML的解读,其NXT:2000i及之后的浸没式光刻系统将会受到出口限制。这也意味着,NXT:1980Di仍将可以出口,即国内大量采用NXT:1980Di进行成熟制程制造晶圆厂将不会受到影响但也有内部人士称,允许出口的NXT:1980Di将被限制部分软硬件性能。

ASML在官网介绍称,NXT:1980Di的分辨率可以达到≤38nm,每小时可以生产275片晶圆。与NXT:2000i一样,这种步进式扫描系统是一种高生产率的双级浸没式光刻工具,专为先进节点的300mm晶圆批量生产而设计。

据了解,通过多重曝光,NXT:1980Di依然可以支持7nm左右工艺,如台积电第一版7nm工艺但这可能会面临步骤更复杂、成本更高以及良率损失等问题。鉴于此,目前NXT:1980Di更多还是被用于45nm以下成熟制程的生产。

一位业内人士指出,“可以说NXT:1980Di还能卖,给(国内)后续N+1、N+2工艺留了一口气。”媒体认为,如果ASML的说法正确,那么荷兰的新规定可能达不到美国对芯片设备行业施加的限制要求。

其实,在荷兰此次拟定的最新出口管制新规之前,据悉国内已有数台NXT 2050i交付。2018年12月,ASML NXT:2000i首次进入中国,正式搬入SK海力士位于无锡的工厂。但据上述业内人士称,虽然此次荷兰的管制新规卡在NXT:2000i上,但是这一型号设备早已经停产,禁运的产品主要为NXT:2050i型号。

值得一提,据外媒报道,荷兰另一家规模较小、几乎与ASML同名的ASMI对华出口也将受限。在业务上,ASMI主要生产用于采用原子层沉积(ALD)技术芯片的晶圆涂层设备。

“各国政府不要陷入保护主义”

无论如何,在美国将其出口管制新规推进至所谓盟友执行过程中,相关措施都将对涉及企业乃至整个产业发展造成不可忽视的影响。

今年1月底,美日荷三国就限制向中国出口一些先进的芯片制造设备达成协议,将把美国于2022年10月采取的一些出口管制措施扩大到荷兰ASML、日本东京电子和尼康等公司。

在解释这次限制的理由时,斯杰·施赖纳马赫尔称,“我们要确保技术领先地位,避免荷兰的设备被应用在军事上,以及降低对中国的战略性依赖。在与美国多次沟通过程中,虽与美国同样顾虑高端技术输往中国,但我们是基于自己的评估而决定。”

当被问及这项政策对ASML公司是否造成损害时,施莱纳马赫称决策过程中与该公司沟通顺畅,“他们能够应付的订单需求已经很满。”

ASML员工在组装光刻机设备 图源:路透社

对于荷兰出口管制新规的影响,ASML方面回应称,“预计这些措施不会对我们发布的2023年财务前景,或去年11月投资者日期间宣布的长期展望产生重大影响“。

但有趣的是,ASML日前则警告称,“全球贸易和出口管制的增加以及对技术主权的推动,可能导致全球贸易、竞争和技术供应链发生长期变化,这可能对我们的业务和增长前景产生不利影响。”

就在2月,ASML预测2023年销售额将增长25%,其中对中国的销售额稳定在22亿欧元左右,约占总销售额18%。可见即便不出口最先进设备,中国市场对ASML也尤为重要。

由于认为芯片行业使全球社会取得巨大进步,ASML首席执行官彼得·温宁克(Peter Wennink)一直批评不断升级的贸易紧张局势破坏了全球芯片生态系统,并警告各国政府不要陷入保护主义。他还称,由于美国去年实施严厉的单边制裁,中国别无选择,只能打造自己的先进芯片生态系统。

另据ASMI首席财务官保罗·沃黑赫(Paul Verhagen)表示,新规限制将影响的产品占对华销售额的七分之一到四分之一,占集团销售额3%左右。但据ASMI去年11月份的预估,美国出口管制将对其造成欧洲主要芯片公司里最严重的冲击,影响到ASMI对华40%销售,占总营收达16%。

可以预见,荷兰的新出口管制规定或将得不偿失,不仅会反噬当地企业在华经营发展,也招致了中国方面严正交涉。中国外交部发言人毛宁表示,“我们对荷兰方面以行政手段干预限制中国和荷兰企业的正常经贸往来表示坚决反对,我们已经向荷兰方面提出了交涉。”

毛宁强调,“我们希望荷方秉持客观公正立场和市场原则,尊重契约精神,从维护自身利益出发,不跟随个别国家滥用出口管制措施,同中方共同维护国际产业链供应链稳定和自由开放的国际贸易秩序,维护两国和双方企业的共同利益。

(校对/张轶群

责编: 张轶群
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