直击股东大会｜中微公司：三大产研项目和15个设备项目强劲“齐飞”

集微网消息，8月26日下午，中微半导体设备（上海）股份有限公司（证券简称：中微公司，证券代码：688012）召开了2022 年第三次临时股东大会，就《关于更换公司董事并相应调整董事会专门委员会成员的议案》进行了审议和表决。爱集微作为其机构股东参与了此次股东大会，就上述议案投出赞同票，同时就其半导体设备业务发展进行了沟通与交流。

概括来看，中微公司董事长、总经理尹志尧对爱集微的多个相关提问进行了深入阐释，其中包括公司在光学检测新产品的布局以及研发进展，在南昌和上海临港的大规模扩建是用在现有产品扩产还是新设备研发和生产，行业扩产潮何时降温和对中微公司有多大影响，以及如何应对当前国际政治经济环境不确定性的风险等。

“董事变动不会对公司经营等产生影响”

在本次股东大会上，中微公司仅仅审议和表决了一项议案，即《关于更换公司董事并相应调整董事会专门委员会成员的议案》。而本次表决通过后也意味着中微公司从官方层面对部分董事管理层的变动予以确认。

此前，8月10日，中微公司发布公告称， 原任董事杨征帆由于个人原因无法履职，巽鑫（上海）投资有限公司作为公司持有 3%以上股份的股东，根据《公司章程》相关规定，提名范晓宁为公司第二届董事会新任董事候选人，任期至本届董事会任期届满之日止。

资料显示，范晓宁1983 年 5 月出生，中国人民大学法学院经济法学专业毕业，研究生学历。曾任北京国际信托投资公司投资经理，宏源证券股份有限公司投资经理，国开金融有限公司投资经理。现任华芯投资有限责任公司投资三部总经理。截止公告披露日，范晓宁未持有本公司股份，未受到过中国证监会和证券交易所的任何处罚。

显然，中微公司此次董事调整事出有因。据其8月9日披露的公告称，公司从中央纪委国家监委网站获悉，公司董事杨征帆涉嫌严重违纪违法，经中央纪委国家监委指定管辖，目前正接受中央纪委国家监委驻工业和信息化部纪检监察组纪律审查，北京市监委监察调查。

鉴于上述原因，中微公司董事杨征帆无法正常履职。此前，杨征帆除担任公司董事、董事会战略委员会委员、审计委员会委员职务外，未担任其他任何职务，不参与公司日常经营管理。中微公司还表示，该事项不会对公司生产经营、财务状况等产生影响。

通过控股投资完善光学检测设备布局

据了解，中微公司开发的主打产品——等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备是制造各种微观器件的关键设备，可加工微米级和纳米级的各种器件。目前，中微的等离子体刻蚀设备已被广泛应用于国际一线客户从65nm到5nm及更先进工艺的众多刻蚀应用。

除了这两大核心产品，对于光学检测设备等布局以及研发进展如何，尹志尧向爱集微表示，这主要体现在公司对上海睿励科技的投资。最近几年睿励科技发展很快，推出了众多光学测量设备产品，目前正在做缺陷检测设备，而且很快将拥有线宽测定能力等。

资料显示，睿励科技成立于2005年6月，致力于集成电路生产前道工艺检测领域设备研发和生产，主营产品为光学膜厚测量设备和光学缺陷检测设备以及硅片厚度及翘曲测量设备等，是国内少数几家进入国际领先的12英寸生产线的高端装备企业之一，并且是国内唯一进入某韩国领先芯片生产企业的国产集成电路设备企业。

目前，睿励科技正在开发下一代可支持更高阶芯片制程工艺的膜厚和OCD测量设备以及应用于集成电路芯片生产的缺陷检测设备，进一步扩大可服务的市场规模。鉴于此，对睿励科技的控股投资将对中微公司聚焦并落实高端芯片设备战略以及完善完善业务布局大有裨益。

三大产研项目和15个设备项目强劲“齐飞”

为了确保今后十到十五年的高速发展，在布局光学检测设备等新增长动能同时，中微公司正在进行三个重大产研项目建设。未来两年建成后，中微将会有比现在十五倍大的厂房陆续建成，从而有足够的研发、生产和营运的空间，为今后的大发展夯实基础。

其中，中微公司在南昌的约 14万平方米的生产和研发基地已部分完工，部分生产洁净室于 2022年 7月投入试生产；在上海临港的约 18万平方米的生产和研发基地建设也已大部分封顶，明年年初就可以部分投入使用；在上海临港滴水湖畔约 10万平方米的研发中心暨总部大楼也在顺利建设。

对于如此大规模的扩建是用在现有产品扩产还是新设备研发和生产，尹志尧表示，两者都有，仅仅是对现有产品扩产不会有那么大规模。“我们在刻蚀、薄膜和测试设备都在开发新的产品。另外，中微现在已经进入MiniLED、MicroLED等新兴领域，其中主要做的是MOCVD设备，同时已经有两个项目开始做半导体前端的CVD设备。总体上，现在中微至少有15个项目在开发。”

可以说，中微公司的新技术产品研发目前已经取得了阶段性进展。例如其MOCVD设备在行业领先客户的生产线上大规模投入量产，已成为世界排名前列的氮化镓基LED设备制造商。据了解，中国是全球MOCVD设备最大的需求市场，保有量占全球比例超过40%。随着MOCVD设备逐步规模应用MiniLED、MicroLED、功率器件等诸多新兴领域，中微公司的市场规模会有望进一步扩大。

“三维立体生长概念”支撑穿越行业周期

毫无疑问，半导体设备和国民经济大环境密切相关，并且存在周期波动性。近两年来，一方面多家晶圆厂此前大幅扩产，一方面消费电子、面板产业现在已经大量砍单。这使得行业逐渐呈现出结构性调整乃至“冰火两重天”的发展局面。

对于这一轮扩产潮何时能逐步降温，尹志尧指出，“从国际层面而言，目前来看是明年后年芯片扩产的速度会降低。不过，根据现在他们统计的数据，不会非常降得非常低，比如降低10%、15%是可能会发生的。但是这种预测准还是不准还有待观察。”

尹志尧补充道：“今年我从业快40年了。一般我们能看准的只有6个月，12个月以后是往上走往下走谁都很难说明白，这个产业确实是这样。总的来说，相信以后两三年不会像前两年那样比较剧烈波动，会有适当的下降，但也不会掉到哪里去。”

对于这一形势将对中微公司有多大影响，尹志尧表示，其实中微的主要增长不是靠客观的市场增长而增长，主要是依靠竞争力以及市场占有率不断提高。目前，中微虽然在国内占据领先地位，但在全球占比并不高，还有较大成长空间。“我们现在最大的增长会在ICP刻蚀设备上。其全球市场规模在90多亿美元，占总刻蚀设备市场48%。”

“在这一领域我们推出了两款新产品，一个是单台机和双台机，它们每年以100%-200%的销售速度增长。基于每年都有新产品进入市场以及大力推动‘三维立体生长概念’等，我们主要是依靠市场战略的提高来实现发展。可以看出中微过去10年一直在往上走，没有出现下降趋势。而再过5年10年，我觉得公司的两只腿、三只腿就会站得更稳” ，尹志尧说道。

“没有供应商因中美关系紧张不提供零部件”

在后疫情时代，除了需要面对疫情仍在持续反复的影响，在国际政治经济环境不确定性风险增加的情况下，积极采取措施应对外部影响也成为了一道必选题。

尹志尧强调，“其实我们在过去18年对国内外供应商做了很多工作。到目前为止，国外供应商对中微的态度非常积极，包括美国、日本在内的供应商一直把我们公司放在非常重要的地位来支持。目前还没有任何迹象说由于中美关系紧张了，就不愿意给我们提供零部件。”

 “但我们也要未雨绸缪，让国内供应商、非美供应商占绝大多数，不断降低美国供应商的比例。我们也宣布过刻蚀机60%的零部件从国内采购，然后在美国采购大概10%。其中，MOCVD是80%已经从国内采购，而美国部件只有5%。在怎么开发国内和非美供应商方面我们都有对策，包括不断做出更好的本地化，以使供应商更为扎实等”，尹志尧表示。

另外，对于如何让大量产能扩建和新品研发克服国内外多重因素影响，尹志尧称，芯片销售的增减每年可以浮动百分之三四十，而影响的设备可以有百分之七八十甚至百分之百，这是一个不解的问题。“我们现在有近80%是国内客户，现在虽然美国在打压，但只是针对14nm以下的先进工艺。国内各种各样的器件投资并没有降低，而且每天还有新东西出来。”

 “在当前国际形势下，中微公司的机会突然变得很大，反而不是变得很小”，尹志尧认为，“其实另我挺担心的是国内一窝蜂的扩产，可能某一天突然就变成产能过剩了。但目前，国际上相关投资是降下来了，在中国的投资并没有。我觉得至少今年看不出多少放缓迹象。”（校对/武守哲）