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加码光刻领域?华为哈勃投资科益虹源

来源:爱集微

#哈勃#

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#科益虹源#

06-04 09:34

集微网消息,企查查显示,6月4日,哈勃科技投资有限公司新增一家投资企业——北京科益虹源光电技术有限公司(以下简称“科益虹源”)。

图片来源:企查查

科益虹源于2016年7月,由亦庄国投、中国科学院微电子所、国科科仪等共同出资设立,是国内少数具备高端准分子激光技术自主研究和产品化能力的公司,也是国家02重大专项“浸没式曝光光源研制与小批量产品生产能力建设”的成果产业化载体。

2018年3月科益虹源自主设计开发的国内首台高能准分子激光器顺利出货,打破了国外厂商的长期垄断。

据悉,科益虹源还为上海微电子装备提供光刻机光源系统。(校对/小北)

责编: 小北

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关注本土IC产业风向,聚焦政策、项目

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